HEIDENHAIN LIC 4100V Linialen voldoen aan extreem hoge eisen voor vacuüm- technologie

In bepaalde productieprocessen, vooral binnen de semi-conductor industrie, wordt onder hoogvacuüm geproduceerd. HEIDENHAIN levert LIC 4100V lengtemeetsystemen die aan de in die werkomgeving gestelde hoge eisen voldoen.

LIC 4100V-serie: hoognauwkeurige absolute lineaire encoder
Met de LIC 4100V-serie is een hoognauwkeurige absoluut lineair meetsysteem beschikbaar voor processen binnen hoogvacuümtechnologie. Dit betekent dat er, naast de al bestaande incrementele LIP 481U, LIP 481V en LIF 481V incrementele lineaire encoders, nu ook een geschikte absolute lineaire encoder variant is.

Extreem hoge eisen
Nadeel van vacuümtechnologie is dat in dit proces de toegepaste materialen gaan ‘uitgassen’ en vaak vinden deze processen plaats in cleanrooms waar juist geen deeltjes mogen rondzweven. Deze producten moeten dan ook vooraf uitgegast volgens bepaalde specificaties. Ook mogen er geen holtes in deze toegepaste onderdelen zitten, want anders ontploffen ze in hoogvacuüm.

Componenten
De LIC 4100V-serie bestaat uit vacuümgeschikte AK LIC 41xV aftastkoppen die kunnen worden gecombineerd met standaard LIC 4003 maatbanden (gemonteerd met bevestigingsklemmen). De EnDat 2.2, Fanuc, Mitsubishi, Panasonic en ook Yaskawa interfaces worden ondersteund.