Linialen voldoen aan extreem hoge eisen voor vacuümtechnologie

Vacuümtechnologie speelt een belangrijke rol in veel moderne productie- en analyseprocessen. Alle componenten die in een vacuüm worden gebruikt moeten aan speciale eisen voldoen. Dit geldt uiteraard ook voor de lengtemeetsystemen in deze unieke omgeving die nodig zijn voor het positioneren van de uit te voeren taken.

Extreem hoge eisen
Nadeel van vacuümtechnologie is dat in dit proces de toegepaste materialen gaan ‘uitgassen’: er ontsnappen deeltjes aan, zoals lijmstoffen. Vaak vinden deze processen plaats in cleanrooms waar juist absoluut geen deeltjes mogen rondzweven. Deze producten moeten dan ook vooraf uitgegast zijn én er moet gespecificeerd zijn wat er eventueel aan deeltjes in het hoogvacuümproces nog uitkomt. Ook mogen er geen holtes in deze toegepaste producten/materialen zijn, anders ontploffen ze in hoogvacuüm.

Speciale productie- en ontwerpmaatregelen
De linialen van HEIDENHAIN uit de serie LIC 4100V, voor toepassing in hoogvacuümtechnologie, voldoen aan al deze eisen en meer. Aan deze eisen wordt voldaan door middel van speciale productie- en ontwerpmaatregelen. Zoals productie in een cleanroom en een gespecialiseerde reiniging en verpakking in een geconditioneerde ruimte nadien. Maar ook past HEIDENHAIN een kabel met PTFE-isolatie en vertind kopervlechtwerk toe. Uiteraard zijn de LIC 4100V linialen bestand tegen hoge temperaturen en garanderen de toegepaste materialen een lage uitgassing. Deze encoders worden doorgaans gespecificeerd voor gebruik in ultrahoog vacuüm (tot 10-11 mbar) of hoog vacuüm (tot 10-7 mbar), afhankelijk van hun uitgassingswaarden.

LIC 4100V-serie: hoognauwkeurige absolute lineaire encoder
Met de LIC 4100V-serie is een hoognauwkeurige absoluut lineair meetsysteem beschikbaar voor processen binnen hoogvacuümtechnologie. Dit betekent dat, naast de LIP 481U, LIP 481V en LIF 481V incrementele lineaire encoders, er ook een extra absoluut encodermodel beschikbaar is. Hiermee is een nog breder bereik aan vacuüm mogelijk.

Componenten
De LIC 4100V-serie bestaat uit vacuümgeschikte AK LIC 41xV aftastkoppen die kunnen worden gecombineerd met standaard LIC 4003 maatbanden (gemonteerd met bevestigingsklemmen). De EnDat 2.2, Fanuc, Mitsubishi, Panasonic en ook Yaskawa interfaces worden ondersteund. De aftastkoppen zijn vervaardigd en verpakt zoals hierboven gespecificeerd. De maatbanden worden niet speciaal gereinigd of verpakt, omdat de klant deze zelf gemakkelijk kan schoonmaken, indien nodig.

Vacuümklasse en partiële druk
Een gedetailleerde restgasanalyse, RGA, werd uitgevoerd met zowel een scankop als een glasschaal om de invloed te bepalen die de afzonderlijke componenten hebben op de kwaliteit van het vacuüm. Voor de aftastkop werd een druk van 6 * 10-8 mbar bereikt onder de aangegeven testomstandigheden in het productinformatiedocument. Dit maakt een veilige implementatie van hoogvacuüm-toepassingen mogelijk. In sommige gevallen hebben klanten ook informatie nodig over de samenstelling van de individuele gascomponenten. Het productinformatiedocument bevat daarvoor een grafiek die de individuele partiële drukken visualiseert.

Verpakking
De aftastkoppen worden 48 uur lang op 100° C verhit, voordat ze worden verpakt. Dit gebeurt in twee lagen PET-folie: de eerste laag is vacuüm verpakt en de tweede laag is overstroomd met stikstof. Bij het uitpakken mag de klant de tweede laag alleen in een cleanroom openen.

Elektrische aansluiting
De aftastkoppen hebben een D-sub-connector voor rechtstreekse aan sluiting op de standaard vacuümdoorvoer. Een vacuümdoorvoer (sub-D-connector, op een DN63CF-flens) en geschikte verlengkabels voor aansluiting op een PWM 20 zijn ook verkrijgbaar als accessoires.