Precisieverdelingen - Uitgangspunt voor een hoge nauwkeurigheid

Belangrijke onderdelen van de meetsystemen van HEIDENHAIN zijn de maatdragers, meestal in de vorm van een streeprooster met typische structuurbreedtes van 0,25 μm tot 10 μm. Deze precisieverdelingen worden volgens een door HEIDENHAIN ontwikkeld procedé (bijvoorbeeld DIADUR of AURODUR) geproduceerd en zijn bepalend voor de functie en de nauwkeurigheid van de meetsystemen. Verdelingen bestaan uit strepen en openingen, waarvan de gedefinieerde afstanden slechts minimale afwijkingen vertonen en waarvan de structuur voorzien is van bijzonder scherpe kanten. Zij zijn bestand tegen mechanische en chemische invloeden, zijn ongevoelig voor trillings- en schokbelastingen en zij gedragen zich thermisch op een precies gedefinieerde wijze.

Faserooster-verdelingen  Met speciale productieprocessen kunnen ook driedimensionale roosterstructuren worden vervaardigd, die speciale optische eigenschappen bezitten. De structuurbreedtes hiervan vallen in het gebied van enkele micrometers tot vanaf één vierde micrometer.
SUPRADURDe volgens de SUPRADUR-procedure vervaardigde verdelingen werken optisch als driedimensionale faseroosters. Ze hebben echter een vlakke structuur en zijn daardoor bijzonder ongevoelig voor verontreinigingen. 
MAGNODURVoor de fijnste gemagnetiseerde verdelingen worden magnetisch actieve, dunne lagen in het micrometergebied gestructureerd.
DIADURDIADUR precisieverdelingen zijn opgebouwd uit een extreme dunne laag tin op een substraat van (meestal) glas of glaskeramiek. De nauwkeurigheid van deze verdeling bevindt zich in de micron en submicron range.
AURODURAURODUR-verdelingen bestaan uit goed reflecterende gouden strepen en mat geëtste openingen. AURODUR-verdelingen zijn meestal op stalen dragers aangebracht. 
METALLURMETALLUR-verdelingen hebben door hun special opbouw uit reflecterende lagen goud een bijna vlakke structuur. Ze zijn daardoor zeer ongevoelig voor vervuiling.